在晶体中，空位并非固定不变，它处于不断的产生和消失过程中，在晶体中，空位的数量通常用“空位浓度”衡量。指的是晶体中空位总数和结点总数的比值。空位浓度决定于温度，一定的温度对应于一定的平衡空位浓度。

简介

根据统计热力学原理。空位可以是在材料生产过程中形成，也可以是有其他离子或电子注入形成。

定律定义

在热平衡状态下，温度为

时，空位的份额浓度为

，其中，

是玻尔兹曼常数；

表示空位的附加熵；

表示空位的形成能。

在离子注入材料形成空洞时，空洞表面的空位浓度可以表示为，

表示气泡的平衡浓度；

表示气泡的压力；表示气泡的表面能；

为气泡的半径；

为温度；

为波尔兹曼常数；

是点阵原子的体积。