基本信息

现象简介

薄膜的沉积生长就是通过固态生长表面与被其吸附的气相产物之间的异相反应来进行的。

薄膜的沉积方法可以分为两个不同的反应机构

化学气相沉积（Chemical vapor deposition, CVD）和物理气相沉积（Physical vapor deposition，PVD）。

均相反应与异相反应

均相反应

在单一固相、气相、液相中进行的化学反应，即在反应过程中与其他物相没有物质交换的反应。

固体均相反应是指在单一的固相中结构组元发生的局域重排过程。

例如在镍铝尖晶石NiAl2O4中，镍和铝离子分别占据氧离子构成的四面体和八面体格位。在温度变化时，镍和铝离子在两种格位上的分布可以发生变化。这种离子格位的重排反应可以利用镍离子的光谱变化测定。

在均相反应中，不存在原子或离子的长程运动和组合物相的体积也不发生改变。材料的很多相变过程，特别是二级相变过程属于均相反应。

异相反应

在两相或者三相中进行的化学反应，即在反应过程中与其他物相具有物质交换的反应。

例如：以酶免反应为例，一个抗体包被在聚苯乙烯微孔板上（为固相），而被检测的抗原在液体中（为液相），他们的反应是处于两个相中，称为异相反应。一般检测大分子用此法。如肝炎标志物，肿瘤标志物和自身抗体等。而抗原和抗体都是在液相中，所形成的反应体系为均相反应，一般检测小分子，如吗啡，器官移植中抗排异药物的检测等可用此法。